潔凈室概述：
潔凈室定義潔凈室（英語：Cleanroom，也稱無塵室）是指將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之環境。即：不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫院等行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。
潔凈室的空氣潔凈度的三種狀態：
空態：設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。
靜態：設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無人員。
動態：設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。
潔凈室的氣流流型：
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器（HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。
特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）
⑴自凈時間：是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鐘） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鐘） （可取25min計算） 100,000級希望不超過40min（分鐘） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自凈時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規范：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規范：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規范：15次/小時）
優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
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